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平面度是四項形狀公差之一，表示被評價表面上所有要素包含在公差帶范圍內。平面度除了用于控制表面以外，也可以控制中心面，控制中心面時，平面度應標注在尺寸要素的尺寸線上以表示控制的是中心。
三坐標測量法是常用的平面度檢測方法之一，通過采用接觸式紅寶石球形探針對產品面進行觸碰式取多點，再通過軟件模塊運算其平面度值。該測量法測量精度高，效率相對快，
三坐標測量機有其獨特的測量規范。三坐標測量中，首先要對特征要素選擇合適的測點數，測點數過少，會造成較大的誤差，對于確定的測量對象，可以通過樣本實驗尋找合適的測點數，以保證測量的精度與效率；
比較各類表面，精度高的表面獲得的測值，比精度低的表面獲得的測值更為可信，測點數對其影響也更小；手動取點誤差大，應選用自動測量的方法。采點是三坐標測量的基礎工作，為保證測量結果真實可信，應予充分重視。不論是形狀誤差、還是位置誤差，或者尺寸的測量，有了正確的測點信息，才能保證計算評價的真實性。
對一般的測量軟件而言，三坐標測量機的測量過程，可分為以下幾個步驟（假設測頭校驗與坐標系的建立已經完成）。 （１）采集特征點的坐標位置。通過測頭直接觸測被測對象、讀取并記錄坐標值。
（２）按照“最小條件”對前面測得的特征點進行計算與構建。如果是形狀誤差，可直接計算出誤差值。 （３）如果是位置誤差則按照“最小條件”將特征點構建出誤差評價所需的點、線、面等基本要素，并用數學的方法計算出各要素間的實際誤差，對照圖紙判斷其是否合格。 在這一過程中，第一步特征點的采集是后續工作的基礎，如果有誤，構建出的特征要素就不能真實的反映出零件的實際情況，誤差計算與評價的結果也就不可信了。因此，特征點的位置、特征點的數量和采集方式對三坐標測量結果有著非常重要的影響。
平面度測量與評價方法
平面度測量是幾何量評價的基本內容，是１４類誤差測量中基本也是具有代表性的。按照“最小條件”的要求，平面度誤差可以由最小包容區域法、對角線法和三點法來評定。
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